Kako nadvladati nisku stopu iskorištavanja cilja sputteringa magnetona

- Jul 18, 2017 -

Kako nadvladati nisku stopu iskorištavanja magnetron sputtering cilj

Rotirajući cilj se široko koristi u solarnim ćelijama, arhitektonskom staklu, automobilskom staklu, poluvodičima, flat-panel televizorima i drugim industrijama.

Cilindrična rotirajuća meta ima visoku snagu magnetskog polja, visoka učinkovitost prskanja cilja, visoka stopa taloženja filma, cilj prskanja i jednolični sloj filma mogu se nanijeti na veliku površinu ravninskog supstrata na obje strane cilja. Istovremeno putem mehanizma rotacije kako bi se poboljšala upotreba cilja. Ciljano hlađenje je dostatno, ciljna površina može izdržati veću raspršenu snagu. Kombinacijom s tehnologijom dvostrukog ciljnog magnetronskog prskanja srednje frekvencije može značajno poboljšati učinkovitost proizvodnje uz smanjenje troškova proizvodnje.

Magnetron sputtering ima mnoge prednosti, ali i postojanje niske razine taloženja i ciljne površinske jetkanje neujednačena, niska iskoristivost ciljnih defekata. Kao što je to slučaj s ravnom ciljnom ciljnom korištenju općenito je samo oko 20% do 30%, metoda prskanja koja rezultira njegovom učinkovitošću prskanja je relativno niska. Za neke dragocjene metale kao što su zlato, srebro, platina i neke metode legure visoke čistoće, kao što su priprema ITO filma, elektromagnetskog filma, supravodljiva filma, dielektričnog filma i drugih slojeva metala plemenitih metala, kako nadvladati raspršivanje magnetrona Ciljana uporaba je niska, tankoslojna keramika nije ujednačena i ostali nedostaci su vrlo važni.

Pravokutni ravni magnetron sputtering target metak graviranje heterogenost se uglavnom odražava u dva aspekta, s jedne strane je širina ciljne širine neravne jetkanje, s druge strane, sputtering ciljati tradicionalni dizajn pravokutnog ravnina sputtering ciljne sputtering utor Staza je zatvorena i anomalna etchna pojava je sklona da se dogodi na dijagonalnom položaju ciljnog kraja, a jetkanje na spoju između ciljanog kraja i ravne je abnormalno i jetkanje u srednjem području je plitko i jetkanje. Teški dijelovi Uvijek su dijagonalni, pa je fenomen također poznat kao krajnji efekt ili dijagonalni efekt. Krajnji učinak cilja uvelike smanjuje uniformnost dubine udubljenja kanala, a cilindrična rotirajuća meta može vrlo dobro riješiti te probleme i stoga ima veću stopu iskorištenja.